知道什么是電感耦合等離子體嗎?
更新時(shí)間:2022-04-29 點(diǎn)擊次數(shù):3410
電感耦合等離子體(ICP)是一種通過(guò)時(shí)變磁場(chǎng)電磁感應(yīng)產(chǎn)生電流作為能源的等離子體源。主要包括等離子炬管、高頻發(fā)生器(產(chǎn)生高頻電流)、感應(yīng)線圈、供氣系統(tǒng)和霧化系統(tǒng)。火炬管由三層同心石英玻璃管組成。切向引入外管的氬氣是等離子工作氣體或冷卻氣體,引入中管的氬氣是輔助氣體。內(nèi)管中的氬氣是載氣,樣品氣溶膠被引入炬管。
電感耦合等離子體有四種主要用途:
1、等離子體光譜診斷:通過(guò)分析ICPSource的光譜分析等離子體的原子成分。參見(jiàn)電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法(ICP-AES);
2、電感耦合等離子體質(zhì)譜:作為質(zhì)譜的離子源,進(jìn)行成分分析(ICP-MS);
3、反應(yīng)離子刻蝕:ICPSource產(chǎn)生低溫等離子體,對(duì)材料表面進(jìn)行刻蝕,改變材料的物理化學(xué)性質(zhì)(ICP-RIE);
4、氣相沉積薄膜技術(shù)(RFICP)。
電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法是利用激發(fā)的氣態(tài)原子或離子發(fā)射的特征光譜,確定被測(cè)物質(zhì)中元素組成和含量的方法。
原子發(fā)射光譜法一般步驟:
1、待測(cè)物質(zhì)在激發(fā)光源中蒸發(fā)、解離、電離并被激發(fā)產(chǎn)生光輻射;
2、產(chǎn)生的復(fù)合光通量色散太輕,無(wú)法形成光譜;
3、檢測(cè)光譜線的波長(zhǎng)和強(qiáng)度進(jìn)行分析。